| Сканирующее устройство *: | |
| Тип: 2-х осевой сканатор (Cambridge Technology) | |
| Программно-аппаратное разрешение | 2,5 мкм * |
| Ширина линии с автоматическим заполнением | до 3 мм |
| Скорость перемещения луча | регулируемая, до 8,7 м/сек * |
|
* - параметры приведены для установки с объективом 100 х 100 мм, параметры отклоняющей системы зависят от используемого объектива и изменяются пропорционально размеру поля маркировки. Так, например, для поля обработки 250х250 мм скорость маркировки будет в 2.5 раза выше и составит более 20 000 мм/с, точность при этом составит 6.3 мкм. |
|